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氣體壓力的變化對濺射室內的放電有什么影響？
作者:奧固鴻已有:N多人關注
在濺射時，氣體壓力的變化對濺射室內的放電有不同的影響，一般來說，濺射室內氣體壓力增大，會引起放電電流增大、逆散射增加，因互相碰撞而使帶能粒子減速；氣體壓力降低結果則相反，濺射粒子的能量在到達基片表面時轉變為熱能。濺射裝置的真空系統應有高的抽氣速率，以便迅速抽出濺射室內的殘余氣體。在放電區附近，必須避免存在壓力梯度，因為這種壓力梯度會造成放電的不均勻性，導致膜層不均。
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