由超聲發生器產生的高頻電振蕩施加于超聲換能器上，將高頻電振蕩轉換成超聲頻振動。超聲振動通過變幅桿放大振幅并驅動以一定靜壓力壓在玻璃表面上的工具產生相應頻率的振動。工具端部通過磨料不斷地捶擊玻璃，使加工區的玻璃粉碎成很細的微粒，被循環的磨料懸浮液帶走，工具便逐漸進入玻璃中，加工與工具相應的形狀。
超聲打孔的孔徑范圍是0.1~90mm,加工深度可達100mm以上，孔的尺寸精度可達0.02~0.05mm。孔的形狀不限于圓形，如果工作臺不旋轉，就有可能鉆成各種各樣的形狀，也可同時鉆幾個孔。
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