熱處理溫度對方塊電阻的影響如圖4所示，由圖可以看出，熱處理溫度較低市ITO薄膜方塊電阻較高，隨著熱處理溫度的增加，ITO薄膜的方塊電阻直線下降，熱處理溫度達到450℃時，ITO薄膜方塊電阻降為最低，熱處理溫度高于450℃后，ITO薄膜方塊電阻由減小轉為增加。熱處理溫度較低時，ITO薄膜晶粒較小，方塊電阻較大；隨著熱處理溫度的升高，ITO薄膜晶粒增大，有利于方塊電阻的下降；當熱處理溫度接近500℃附近時，晶格畸變嚴重，抵消了晶粒增大有利于方塊電阻下降的影響，導致熱處理溫度超過450℃后，ITO薄膜方塊電阻增加。
熱處理溫度對透光率影響如5圖所示，由圖5可以看出，熱處理溫度對透光率的影響，在熱處理溫度為475℃之前并不大，當熱處理溫度高于475℃后，透光率隨熱處理溫度的增高迅速下降。
熱處理是將對方塊電阻的影響如圖6所示，由圖可以看出，熱處理時間較短時，ITO薄膜方塊電阻較大，隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜方塊電阻迅速減小；當熱處理時間超過15min后，隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜方阻緩慢上升。熱處理時間較短時，ITO薄膜晶粒較小，方塊電阻較大；隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜晶粒變大，方塊電阻迅速下降；當熱處理時間超過15min后，隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜晶粒變大，方塊電阻迅速下降；當熱處理時間超過15min后，隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜晶粒尺寸變化不大，方塊電阻變化不大。
熱處理時間對透光率的影響如圖7所示，由圖可以看出，熱處理時間較短時，ITO薄膜透光率較高，隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜透光率隨之減小；當熱處理時間超過15min后，隨著熱處理時間的增加，ITO薄膜的透光率下降緩慢；熱處理時間超過30min后，ITO薄膜的透光率基本不隨著熱處理時間的增加而變化。
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